箱式氣氛爐介紹

箱式氣氛爐采用預(yù)抽真空技術(shù)，確保爐膛內(nèi)的氧含量降至最低。隨后，會(huì)通入氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w，以在保護(hù)性氣氛下實(shí)現(xiàn)理想的熱處理效果。由于其出色的氣氛控制和緊湊實(shí)用的設(shè)計(jì)，該設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于材料實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體、氮化硅等產(chǎn)品的批量生產(chǎn)中。

箱式氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn)

溫度范圍：RT～1700℃，滿足各種材料的高溫處理需求。

爐膛材料：采用氧化鋁多晶纖維，確保溫場(chǎng)均衡且無(wú)污染，為材料提供純凈的熱處理環(huán)境。

密閉性能：爐膛采用全密閉結(jié)構(gòu)，殼體采用雙層加厚鋼板，確保極限真空可達(dá)-0.1Mpa，保證爐內(nèi)高真空狀態(tài)。

加強(qiáng)結(jié)構(gòu)：頂部、左側(cè)、右側(cè)和背部均采用12mm的實(shí)心方鋼作為加強(qiáng)筋，確保在抽真空過(guò)程中不變形，最大抽真空度可達(dá)到-0.08MPa。

控溫系統(tǒng)：采用工業(yè)精度0.2級(jí)智能儀表，結(jié)合PID調(diào)節(jié)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)50段編程控溫，確保溫度控制的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

爐門密封：四個(gè)手輪緊鎖爐門，配合硅膠圈密封，有效防止?fàn)t內(nèi)氣體外泄，保持爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。

箱式氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)配件：

爐門檔火磚(1200型除外)

高溫手套

坩堝鉗

說(shuō)明書(shū)

熱元件兩支(1200型除外)

旋片真空泵

箱式氣氛爐可選配件：

直連式真空泵

觸摸屏/電腦連接軟件

爐膛坩堝(多層窯具)

加熱元件(硅鉬棒，硅碳棒)

氣路系統(tǒng)(浮子/質(zhì)子流量計(jì)，2路/3路氣體)

箱式氣氛爐設(shè)備技術(shù)參數(shù)

1200℃箱式氣氛爐技術(shù)參數(shù)（可定制）

1400℃箱式氣氛爐技術(shù)參數(shù)（可定制）

1700℃箱式氣氛爐技術(shù)參數(shù)（可定制）