滑動(dòng)管式爐

滑動(dòng)快冷管式爐，也叫做滑道管式爐、滑軌式管式爐、RTP快速退火爐(RTP紅外燈管加熱管式爐)、爐膛可移動(dòng)式管式爐。

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滑動(dòng)快冷管式爐的簡(jiǎn)介

滑動(dòng)快冷管式爐，也叫做滑道管式爐、滑軌式管式爐、RTP快速退火爐(RTP紅外燈管加熱管式爐)、爐膛可移動(dòng)式管式爐，它是一種新型的加熱電爐設(shè)備，可在真空、氣氛環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。

滑動(dòng)快冷管式爐采用滑動(dòng)快冷技術(shù)，具有快速冷卻的特點(diǎn)，能夠在高溫實(shí)驗(yàn)過(guò)程中快速冷卻樣品，為實(shí)驗(yàn)提供更加準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和更好的實(shí)驗(yàn)效果。

滑動(dòng)管式爐

滑道管式爐

RTP紅外燈管加熱管式爐一款精巧型快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用紅外燈管加熱，升溫速度可達(dá)50℃/秒，30段可編程序，PID自動(dòng)控制，它是專(zhuān)為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片的退火而設(shè)計(jì)。

滑動(dòng)快冷管式爐的組成結(jié)構(gòu)

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。

(1).雙層鋼結(jié)構(gòu)，帶冷卻風(fēng)扇。

(2).爐底裝有一對(duì)滑軌，可以手動(dòng)左右移動(dòng)爐子。

(3).安裝真空法蘭和機(jī)械壓力表，可立即使用。

滑動(dòng)快冷管式爐主要由以下幾個(gè)部分組成：

爐管：

爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料，具有高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕等特點(diǎn)，能夠承受高溫和高壓。

滑動(dòng)快熱、快冷系統(tǒng)：

為取得最快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的爐子。

抽真空系統(tǒng)：

包括真空泵和真空測(cè)量系統(tǒng)，用于抽真空和保持高真空度。

控制系統(tǒng)：

可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器。精度為 ±1°C°C. 計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長(zhǎng)，操作簡(jiǎn)便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高;